ساخت و بهينه‎سازي لايه‎هاي نازك موليبدن و اكسيد روي آلايش شده با آلومينيوم به روش كندوپاش به منظور كاربرد در سلول‎هاي خورشيدي

Fabrication and optimization of Molybdenum and Aluminum doped Zinc Oxide thin films prepared by RF magnetron sputtering for solar cells applications

در اين مقاله ساخت و بهينه‎سازي لايه‎هاي نازك موليبدن و اكسيد روي آلائيده شده به آلومينيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش متناوب مورد بررسي قرار گرفته است. پارامترهاي مهم در لايه‎نشاني موليبدن شامل مقاومت سطحي كم و چسبندگي بالا به زيرلايه و در لايه‎نشاني اكسيد رساناي شفاف شامل رسانندگي و شفافيت بالا مي‏باشند. با تغيير پارامترهايي همچون فشار محفظه، توان دستگاه و ضخامت لايه‎ها به بهينه مشخصات دست يافتيم. بهينه مشخصات با لايه‏نشاني موليبدن به صورت دو مرحله‎اي در دو فشار متفاوت 3-10×3 و 3-10×6 ميلي‎بار و توان 300 وات، براي ضخامت 500 نانومتر بدست آمد و مقاومت سطحي به مقدار□⁄Ω 3/0 رسيد كه براي استفاده به عنوان اتصال يك سلول خورشيدي ايده‎ال است. بهينه شرايط براي لايه ZnO:Al در توان 150 وات، فشار كاري 3-10×3 ميلي‏بار و ضخامت 600 نانومتر حاصل شد. لايه AZO بدست آمده داراي مقاومت سطحي □⁄Ω 30 و شفافيت بالاي 75 درصد مي‏باشد.