شماره ركورد كنفرانس :
4341
عنوان مقاله :
بررسي تأثير دماي زيرلايه بر ويژگي هاي ترشوندگي و نوري لايه كربن شبه الماسي لايه نشاني شده به روش DC-DIBD
عنوان به زبان ديگر :
Investigation the effect of substrate temperature on wettability and optical properties of diamond-like carbon film deposited by DC-DIBD
پديدآورندگان :
نجاتي وحيد v.nejati24@gmail.com دانشگاه صنعتي مالك اشتر؛ , زاهدي فهيمه zahedy2001@gmail.com دانشگاه صنعتي مالك اشتر؛ , جان نثاري محمد ladani1383@yahoo.com دانشگاه صنعتي مالك اشتر؛
عنوان كنفرانس :
سي و سومين كنفرانس ملي فيزيك ايران 1396
چكيده فارسي :
در اين تحقيق، لايه كربن شبه الماسي (DLC) به روش پرتو يوني مستقيم با منبع تغذيه ي جريان مستقيم (DC-DIBD)و با استفاده از گاز متان به عنوان پيش ماده ي هيدروكربني بر روي زيرلايه ي سيليكوني در دماهاي مختلف زيرلايه (دماي اتاق، C° 200و °C300) لايه نشاني شد. اثر دماي زيرلايه بر ويژگي هاي ترشوندگي لايه، ريخت شناسي سطح و بازتاب نوري لايه DLC به ترتيب توسط سامانه اندازه گيري زاويه تماس، آناليز ميكروسكوپ نيروي اتمي و طيف سنج تبديل فوريه مادون قرمز (FT-IR) مورد بررسي قرار گرفت. نتايج نشان مي دهد كه با افزايش دماي زيرلايه، زبري سطح لايه DLC و زاويه تماس قطره افزايش پيدا مي كنند و بنابراين كاهش ترشوندگي سطح با افزايش دماي زيرلايه مشاهده مي شود. طيف انعكاسي لايه هاي نابازتابنده ي DLC لايه نشاني شده بر زيرلايه ي سيليكون در دماهاي مختلف، تفاوت قابل توجهي ندارد.
