شماره ركورد كنفرانس :
4341
عنوان مقاله :
تهيه لايه نازك دي اكسيد قلع(SnO2) بر روي شيشه به روش كندوپاش
عنوان به زبان ديگر :
characterization of Tin Oxide Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
پديدآورندگان :
فرجي زهرا zahrafaraji87@gmail.com دانشجوي دانشگاه ازاد اسلامي واحد علوم و تحقيقات تهران؛ , مجتهدزاده لاريجاني مجيد mmojtahedfr@yahoo.com پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، سازمان انرزي اتمي ايران، تهران؛ , بلاش آبادي پروين paribalash@gmail.com پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، سازمان انرزي اتمي ايران، تهران؛
عنوان كنفرانس :
سي و سومين كنفرانس ملي فيزيك ايران 1396
چكيده فارسي :
براي توليد فيلمهاي نازك دي اكسيد قلع روشهاي مختلفي از جمله لايه نشاني بخار شيميايي ، تبخير حرارتي، كندوپاش ، افشاندن و ليزر پالسي مورد استفاده قرار مي گيرد كه در اين تحقيق لايه‌هاي دي اكسيد قلع به روش كندوپاش و بر روي شيشه تهيه و مشخصه‌يابي شده‌اند. آناليزهاي مورد استفاده در اين تحقيق از RBS براي تعيين ضخامت و غلظت اتمي عناصر استفاده شد. همچنين FTIR و UV-VIS-IR براي بررسي ساختار و شفافيت نمونه مورد استفاده قرار گرفت.
