ساخت و مطالعه خواص حسگر گازهاي (دي اكسيد كربن و مونوكسيد كربن) مبتني بر لايه هاي نازك نانوساختاري اكسيد روي

در اين پژوهش، لايه هاي نازك روي به روش كندوپاش مگنتروني روي زير لايه كوارتز نهشته شد. سپس، نانوذرات اكسيد روي، از حرارت دادن لايه نازك روي در هوا، در دماهاي مختلف متفاوت توليد شد و ويژگي هاي ساختاري و الكتريكي لايه هاي نانوساختار اكسيد روي جهت ساخت حسگر گازي مقاومتي بررسي گرديد. با جمع بندي نتايج حاصل از بررسي خواص فيزيكي لايه ها، نتيجه مي شود كه در لايه ي نازك بازپخت شده در دماي °C 500، اندازه نانو ذرات نسبت به بقيه ي نمونه ها كوچك تر و آثار توده شدگي ذرات در آن كم تر است، در نتيجه بهترين خواص را جهت ساخت حسگر گازي نشان داد. بررسي و تحليل آزمايشات حسگري براي گازهاي كربن دي اكسيد، كربن مونوكسيد با غلظت هاي مختلف 1000، 500 ، 300 وppm 100، حساسيت حسگري براي غلظت هاي مختلف گاز مونوكسيد كربن بيش تر از گاز دي اكسيد كربن بوده است و هم چنين اين آزمايش ها نشان داد كه مي توان با بهينه كردن ساير شرايط لايه نشاني و خواص حسگري از لايه هاي نازك نانوساختار اكسيد روي براي توليد انبوه حسگر گاز CO استفاده كرد