شماره ركورد كنفرانس :
4408
عنوان مقاله :
اندازهگيري ضريبشكست گروه و ضخامت نمونه به صورت همزمان با استفاده از مقطعنگار همدوس نوري طيفي
پديدآورندگان :
اميدي پوريا دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان , حميدي آرشام دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان , احدي اخلاقي احسان دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان
كليدواژه :
تداخلسنجي همدوس جزئي , ضريبشكست , مقطعنگاري همدوس نوري طيفي , ضخامت سنجي.
عنوان كنفرانس :
بيست و جهارمين كنفرانس ملي اپتيك و فوتونيك ايران و دهمين كنفرانس ملي مهندسي و فناوري فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
مقطعنگار همدوس نوري روشي نوين، غيرمخرب و با سرعت داده برداري بالا در تصويربرداري است كه با بهره گيري از روش تداخل سنجي همدوس جزئي، لايه هاي مختلف نمونه را شناسايي مي كند. در اين مقاله با استفاده از چينش مقطع نگار همدوس نوري طيفي با چشمه ي نور مرئي كه داراي تفكيك پذيري محوري 1 ميكرومتر است، روشي براي اندازه گيري ضريبشكست گروه لايه هاي نازك چندلايه اي ارائه شده است. اين روش ميتواند بهطور همزمان ضريبشكست گروه و ضخامت لايههاي نازك را تعيين كند. با استفاده از اين روش، ضريبشكست لايه ي نازك تا دو رقم اعشار و ضخامت لايه ي نازك با دقت يك ميكرومتر قابل تعيين است.