بررسي ساختارهاي ميكروتخلخلي و ميكروموجي ايجاد شده بر روي سطح پليمر PMMA در برهمكنش با ليزر پالسي CO2

تراشه هاي ميكروشاره كاربردهاي بسيار مهمي در حوزه‌هاي مختلف تحقيقاتي مانند سنتز شيميايي، بيوتكنولوژي و تكنولوژي شاره هاي اپتيكي دارند. در ميان مواد پليمري متنوعي كه براي ساخت ابزارهاي ميكروشاره مورد استفاده قرار ميگيرند، پليمر پلي‌متيل‌متاآكريلات (PMMA) بدليل قيمت پايين، شفافيت و زيست سازگاري كه به ويژه در كاربردهاي بيولوژيكي مهم است، بيشتر مورد استفاده‌ مي‌باشد. ميكروماشين كاري ليزري يكي از روش هاي مهم در ساخت ميكروكانال‌ در تراشه ميكروشاره است. بدنبال ميكروماشين كاري ليزري، آرايه اي از ميكرو و نانوساختارها در كفِ ميكروكانال‌ها ايجاد مي‌گردد كه شكل و اندازه آن‌ها به پارامترهاي تابش بستگي دارد. اين ساختارها مي‌تواند بر بازده ميكروكانال‌ها تاثير گذارد. در اين مقاله، ساختارهاي ميكروتخلخلي و ميكروموجي ايجاد شده بر روي سطح پليمر PMMA پس از تابش با ليزر پالسي CO2 مورد مطالعه قرار گرفته است. به منظور بررسي مورفولوژي سطح، قبل و بعد از تابش، از ميكروسكوپ الكتروني پويشگر (SEM) استفاده گرديده است.