شماره ركورد كنفرانس :
456
عنوان مقاله :
مطالعه و بررسي نانوساختار لايه MgF2 انباشت شده به روش تبخير الكتروني
پديدآورندگان :
مشايخي جهانبخش نويسنده , شفيعي زاده زهرا نويسنده , ناهيدي حسين نويسنده
كليدواژه :
نانوساختار , لايه MgF2 , روش تبخير الكتروني
عنوان كنفرانس :
پنجمين كنفرانس ملي خلا ايران
چكيده فارسي :
براي لايه نشاني لايه هاي تركيبي مانند اكسيدها، براي حفظ استوكيومتري، معمولا از گازهاي واكنشي مانند اكسيژن و فلورايد استفاده مي شود. در اين تحقيق ما نشان
به ضخامت 92 نانومتر روي سطح MgF به روش تبخيري الكتروني، استفاده از گاز واكنشي ضروري نيست. لايه 2 MgF مي دهيم كه ، در خصوص لايه نشاني 2
براي مشاهده مورفولوژي و خواص كيفي AFM و اسپكتروفتومتر براي تعيين ماهيت لايه و از آناليز XPS زيرلايه شيشه اي انباشت گرديد و سپس از آناليزهاي
لايه استفاده گرديد
شماره مدرك كنفرانس :
1891696
