پيشرفتهاي بازپخت كاشت يون منيزيم در گاليم نيتريد و دستگاههاي مرتبط

فعالسازي ناخالصي نوع p يون كاشته شده گاليم نيتريت بسيار مشكل است چون براي فعالسازي نيازمند دما بالا و همچنين با اين عمل موجب آسيب به كريستال گاليم نيتريد ميشود. در اين مقاله، روش بهينهسازي فرآيند بازپخت جديد )بازپخت متقارن چند دورهاي سريع گرمايي( ارائه ميشود كه باعث كاهش آسيب سطح و همچنين كاهش جريان نشت بالا و همچنين باعث كاهش رفتار غير ايدآل ديود ميشود. علاوه بر اين، فني براي كاشت منيزيم در بالك گاليم نيتريت براي فعال كردن ساختار دستگاه عمودي قدرت اعمال ميشود كه ثابت ميشود كه اتصالات p-i-n تصحيح پيداكرده است. علاوه بر اين فني براي لبه اضافي در هر دو ساختار p-i-n و ديواره ديود شاكلي اعمال ميشود و نيز حلقه محافظ شناور و محل اتصال ساختار توسعه اضافي تشخيص داده ميشود. با اين فرآيند ارائه شده يك گام كليدي براي آينده دستگاه قدرت مبتني بر گاليم نيتريد برداشته ميشود.