شماره ركورد كنفرانس :
456
عنوان مقاله :
مسموميت كاتدي در لايه نشاني پلاسماي راكتيو
پديدآورندگان :
ميرزائي شيخ آبادي تقي نويسنده
كليدواژه :
پلاسماي راكتيو , مسموميت كاتدي , فيزيك , لايه نشاني
عنوان كنفرانس :
پنجمين كنفرانس ملي خلا ايران
چكيده فارسي :
علاقه به تحقيق و پژوهش در زمينه پلاسماهاي غباري كه رشته جديدي در فيزيك پلاسما ميباشند با توسعه صنعت ميكروالكترونيك و مهندسي سطح رشد
وريهاي لايه نشاني استفاده ميشوند. يكي از انواع لايه گذاري، Ĥ چشمگيري داشته است. ذرات غبار كه تا كنون به عنوان آلودگي در نظر گرفته ميشدند، امروزه در فن
لايه گذاري پلاسماي كندوپاشي راكتيو مي باشد. به همين جهت بررسي مسموميت كاتدي كه در كندوپاش هاي راكتيو اتفاق مي افتد در فرآيندهاي لايه گذاري مهم
مي باشد. مسموميت كاتدي سبب ناپايداري در سيستم مي شود. اين پديده تاثير زيادي روي خواص الكتريكي، اپتيكي و ساختاري لايه مي گذارد. تركيب شيميايي
لايه در طول مسموميت كاتدي تغيير مي كن . د
شماره مدرك كنفرانس :
1891696
