سنتز نانو لايه هاي ITO توسط روش اسپري پيروليز طي فرآيند اكسيداسيون قلع (II) به قلع (IV)

(Synthesis of nano-ITO layers by spray pyrolysis technique by oxidation process of tin (II) to tin (IV

در اين تحقيق فرآيند تهيه لايه هاي نازك با ابعاد نانو متري اكسيد اينديم آلاپيده با قلع (ITO) به روش سل-ژل و لايه نشاني شده به روش اسپري پيروليز روي لام شيشه اي گزارش شده است. در روش اسپري، اغلب از نمك قلع (IV) به عنوان نمك اوليه استفاده مي شود اما در اين تحقيق از نمك قلع (II ) و FeCl3 به عنوان ماده مي اكسنده ، استفاده شده است. تجزيه و تحليل هاي XRD ، UV - Visible و دستگاه مقاومت سنج چهار ترمينالي جهت بررسي خواص نمونه هاي تهيه شده مورد استفاده قرار گرفت. الگوهاي XRD ساختار ITO بلورينه را تائيد نموده و پيك (222) به وضوح قابل مشاهده است. ميزان عبور نوري در ناحيه مي UV - Visible بيش از 85 % و ميزان مقاومت در حدود Q . cm - 710 1 / 3 تعيين گرديده است.

In this research we report the process of preparing nano-ITO thin films prepared by sol-gel method and deposited on glass by spray pyrolysis. Often Tin (IV) is used in spray method as the precursor salt but in this research tin (II) and FeCl3, as oxidation material, have been used. The UV-Visible, XRD and four probe resistance measurement have been used to analyze the prepared samples. XRD patterns of ITO confirm the crystalline structure of the products and the (222) peak is clearly visible in the patterns. Optical transmittance in the UV-Visible region is over 85% and the measured resistivity is 3.1 * 10-2 .cm