تجزيه و تحليل اپتيكي لايه هاي نازك اكسيد روي تهيه شده به روش سل-ژل با استفاده از اسپكتروسكوپي اليپسومتري

Optical analysis of zinc oxide thin films prepared by sol-gel method using spectroscopy ellipsometric

لايه هاي نازك اكسيد روي به روش سل-ژل روي زير لايه شيشه تهيه شدند. لايه ها بعد از حرارت ديدن در دماي C° 200 به مدت 10 دقيقه، به مدت 1 ساعت در دماي C° 500 باز پخت شدند. استات روي دو آبه، دو متوكسي اتانول و مونو اتانول آمين به ترتيب به عنوان ماده اوليه، حلال و تثبيت كننده مورد استفاده قرار گرفتند. خواص اپتيكي مختلف از جمله ضريب شكست، گاف نواري و ضريب خاموشي در زواياي فرود مختلف، با استفاده از دستگاه اسپكتروسكوپي اليپسومتري SE800DUV مورد بررسي و مقايسه قرار گرفتند. نيت كردن داده ها با كمينه سازي خطاي ميانگين مربعي بين مقادير اندازه گيري شده و محاسبه شده پارامترهاي اليپسومتري(ψ,Δ) انجام گرفته است.

Zinc oxide nanolayers were deposited on glass substrate by sol-gel method. After heating at 200°C for 10 min., the layers were annealed at 500°C for an hour. Zinc acetate dehydrate, two-methoxyethanol and monoethanolamine were used as precursor, solvent and stabilizer respectively. Different optical constants such as refractive index, band gap and extinction coefficient were investigated and compared at different incidence angles by SE800DUV spectroscopic ellipsometry device. Data fitting was done by minimizing the mean square error between the experimental and calculated ellisometry parameters (ψ,Δ