اندازه گيري خواص اپتيكي لايه هاي نازك اكسيد روي ساخته شده با استفاده از پوشش دهي دوراني با سرعت هاي دوران مختلف به روش اسپكتروسكوپي اليپسومتري

Measuring the optical properties of zinc oxide thin films using spin coating with different rotation rates by spectroscopy ellipsometric method

در اين مقاله لايه هاي نازك اكسيد روي به روش سل-ژل روي زير لايه شيشه با سرعتهاي انباشت مختلف 3600، 4800 و 6000 دور در دقيقه تهيه شدند. ابتدا لايه ها تا دماي 200°C به مدت 10 دقيقه حرارت ديدند، سپس به مدت 1 ساعت در دماي C° 500 باز پخت شدند. خواص اپتيكي لايه ها از جمله ضريب بازتاب، ضريب شكست و ضريب خاموشي با استفاده از دستگاه اسپكتروسكوپي اليپسومتري SE800DUV براي لايه ها بدست آمدند. همچنين ضريب جذب و گاف نوري براي اين لايه ها محاسبه شدند . داده هاي اليپسومتري اندازه گيري شده با طيف نظري تهيه شده از مدل فرضي مناسب با توجه به ساختار نمونه فيت شده است. فيت كردن داده ها با مينيمم سازي خطاي ميانگين مربعي بين مقادير اندازه گيري شده و محاسبه شده پارامترهاي اليپسومتري (ψ,Δ) انجام گرفته است.

In this paper Zinc Oxide nano layers were deposited on glass substrates by sol-gel process with different coating speeds 3600 rpm, 4800 rpm, 6000 rpm. At first the layers were heated up to 200°C for 10 min. Then they were annealed at 500°C for an hour. The optical properties of the layers such as reflectance, refractive index and extinction coefficient were obtained by SE800DUV spectroscopic ellipsometry device. Also the absorption coefficient and the band gap of the layers were calculated. The experimental data and the data obtained from theoretical spectra of a suitable assumed model were fitted according to the sample structure. Data fitting was done by minimizing the mean square error between the experimental and calculated ellisometry parameters (ψ,Δ