XRD و SEM بررسي تغييرات ريزساختاري لايه نيترات زيركونيوم تهيه شده به روش كندوپاش يوني بر روي استيل 304 پخت شده با استفاده از

Analysis of Microstructure Changes of ZrN Films Prepared with Ion Beam Sputtering Technique on Annealed SS304 Using XRD and SEM.

در اين مقاله لايه نازك ZrN به روش كندوپاش يوني بر روي استيل SS 304 در نسبتهاي گازي N2: (N2+Ar مختلف انباشت شده سپس نمونه ها در كوره الكتريكي تا دماي 0 800 درمحيط هيدروژن به مدت نيم ساعت گرم شده اند. مشخصه يابي ريز ساختاري و تعيين فازهاي كريستالي به ترتيب با استفاده از ( ميكروسكوپ الكتروني روبشي) SEM و (پراش پرتو ايكس XRD انجام گرفته است در نمودارهاي XRD شاهد جهت گيري ترجيهي[111] ZrN مي باشيم كه با افزايش درصد گازي تا 50% شدت اين پيك افزايش يافته بعد از آن دوباره كم مي شود. اين روند در نمونه هاي بعد از بازپخت نيز مشاهده مي شود ولي شدت پيك ها كاهش يافته ونيز شاهد يك جابجايي كوچك در اكثر پيكها بعلت كم شدن تنشهاي بلوري بعد از بازپخت مي باشيم. در عكسهاي SEM مي بينيم كه لكه ها و شيارهاي قبل از بازپخت بعد از عمليات حرارتي بعلت دوباره كريستاليزه شدن، كمتر شده و سطوح يكنواخت تر شده اند.

In this work, SEM(Scanning Electron Microscope) and XRD(X-Ray Diffraction) analysis were used to investigate the effect of post- annealing on the zirconium nitride films microstructure. ZrN films were deposited on (Stainless Steel) using ion beam sputtering technique at different nitrogen flows. Then, the films were annealed in hydrogen atmosphere at for30minute. In both at-deposite and annealed layers,304SSC0800 ZrN[111] direction was preferred orientation, but the intensity of this peak decreased after annealing as reveal by XRD patterns. A texture shift towards the standard values was found after annealing, which suggests a decrease of strain in the post-annealed ZrN films. SEM micrographs present clearly an improvement of film surface quality after annealing.