خواص حسگري لايه هاي نازك WO3 ساخته شده به روش سل ژل

Sensing Properties of WO3 Thin Films Prepared by Sol – gel Technique

لايه هاي نازك تري اكسيد تنگستن WO3 بعنوان لايه اصلي حسگر گاز به روش سل - ژل از ماده اوليه P-PTA ساخته شده اند . نتايج پراش اشعه XRD ) X) ، مشخص كرد كه لايه ابتدا آمورف و پس از پخت در دماهاي بالاتر از 500 بلوري مي شود . بررسي مورفولوژي سطح ( AFM )نشان مي دهد كه اندازه ذرات پخته شده تا 600 زير 100 نانومتراست . خواص حسگري لايه نازك نسبت به گازهاي CO,H2,CH4 مورد آزمايش قرار گرفتند . حساسيت خوب ، گزينندگي عالي وكوتاه بودن زمان پاسخ وبازگشت اين لايه ها نسبت به ئيدروژن مشاهده شده است

Tungsten trioxide films has been prepared by sol – gel technique, using P-PTA as a precursor. The X-ray diffractometery , (XRD) patterns indicated that the crystallization of tungsten oxide occurs at temperatures higher than 500 . The atomic force microscopy (AFM) images showed that the grain size of the annealed films at temperatures about 600is smaller than 100 nanometers. The sensing properties of these layers to CO,HCoCo2 and CH4 gasses in different temperatures were measured by dynamic methods .Due to small grain size, the samples exhibit good sensitivity, response time and selectivity to hydrogen as compared with the other gases.