بررسي اثر زمان لايه نشاني بر خواص فيزيكي و ساختاري لايه نازك كربن شبه الماسي ايجاد شده به روش كندوپاش پرتو يوني

Effect the time of deposition on physical and structural properties of diamond like amorphous carbon thin films prepared by ion beam sputtering deposition method

در تحقيق حاضر اثر زمان انباشت بر خواص ساختاري و فيزيكي لايه نازك كربن شبه الماسي آمورف ايجاد شده بر سطح شيشه به روش كندو پاش پرتو يوني بررسي شده است. اندازه گيري سطيفه عبور نمونه ها كاهش ميزان عبور نور در محدوده مرئي با افزايش زمان انباشت به 45 دقيقه و تثبيت در صدد عبور بعد از 60 دقيقه انباشت را نشان مي دهد. بررسي طيف رامان لايه هاي نازك نشان مي دهد كه حداكثر اندازه خوشه هاي كريستالي گرافيت با پيوندهاي sp برابر با 1 / 23 است كه بعد از انباشت به مدت 45 دقيقه با نسبت شملت باند D به G برابر با 0/83 ايجاد مي شود و سپس با افزايش زمان انباشت به حدود 1 nm كاهش مي يابد. مقايسه مقادير مقاومت سطحي لايه ها و اندازه كلاسترهاي گرافيت وجود رابطه اي مستقيم را نشان مي دهد

In this work, the effect of deposition time on the structural and physical properties of Diamond Like Amorphous Carbon (a:DLC) has been investigated. The films were prepared by ion beam sputtering deposition technique on glass substrate. The results show that optical transparency decreased with increasing the time of deposition and will be constant after 45 minute deposition time. Raman spectroscope show that maximum size of graphite crystallites with sp2 bands (La) is 1.23 nm that is created in 45 minute deposition time with ID/IG equal 0.83 and La is around 1 nm in the other time of deposition. The result of sheet resistance is comparable with the process of changing in the size of graphite crystallites.