اثر بمباران ذرات باردار بر افزايش دماي سطح بواسطه ي نوسانات شبكه

The Charged-Particle Bombardment Effect on the Surface Temperature Increase due to the Lattice Vibrations

در اين تحقيق به بررسي اثر بمباران ذرات باردار بر افزايش دماي سطح بواسطه ي نوسانات شبكه پرداخته مي شود. نتايج به دست آمده نشان مي دهد كه چگالي شار يونها با افزايش ولتاژ زيرلايه كاهش مي يابد اما افزايش انرژي آنها با باياس، منجر به افزايش دماي زيرلايه مي شود. افزايش درجه ي يونيزاسيون نيز منجر به افزايش دماي سطح مي گردد. در حقيقت اين كاهش افزايش شاور يوني است كه با تاثير بر شعاع ناحيه ي موضعي گرم شده و نيز تعداد اتم هاي موجود در اين ناحيه كه خود متاثر از اين شعاع و ثابت شبكه مي باشد، بر دماي سطح تاثير مي گذارد.

In this paper, the effect of charged particle bombardment on the surface temperature increase due to the lattice vibrations is investigated. The obtained results show that although the number flux density of ions decreases with voltage, the increment of the ion energy with bias increases the substrate temperature. The surface temperature increases with the ionization degree also. In fact, that is the decrement/increment of the ion flux density which due to its effects on the local heated zone radius (rhz) as well as the number of atoms included within (dependent on the rhz and lattice constant), influences the surface temperature