لايه نشاني و مطالعه خواص ساختاري و فوتو - رسانايي لايه هاي نازك اكسيداينديوم- قلع (ITO) با ناخالصي سولفور به روش اسپري پايروليزيز

Deposition and study of the structural and photo conductivity properties of ITO and ITO:S thin films prepared by spray pyrolysis technique

در اين تحقيق، لايه هاي نازك رساناي شفاف ITO با ناخالصي سولفور به روش اسپري پايروليزيز تهيه شده است. سپس اثر گوگرد بر ويژگي هاي ساختاري مورد بررسي قرار گرفت. خواص اپتيكي و فوتو-رسانايي لايه ها نيز از جمله طيف هاي عبور و جذب با استفاده از اسپكتروفوتومتر UV-Vis انجام شد كه با توجه به اين داده ها مقادير گاف انرژي تعيين شد. تغيير نسبي مقاومت الكتريكي لايه ها با تابش نور به نمونه ها اندازه گيري شد. نتايج نشان مي دهد كه با افزايش ناخالصي سولفور تا 20 درصد، خواص فوتو-رسانايي لايه ها افزايش مي يابد.

In this research, Indium tin oxide (ITO) thin films with sulfur impurity have been deposited. Then the influence of sulfur impurity on the structural properties has been investigated. Optical properties and photo conductivity of the thin films have been performed using UV-Vis spectrophotometer and energy band gap values are determined. The relative change of the electrical resistivity of thin films has been measured by the radiation of light to samples. Results show that by adding sulfur up to 20% (photo conductivity properties) have been increased.