شماره ركورد كنفرانس
3298
عنوان مقاله
بررسي اثر كاشت هيدروژن بر روي شبكه بلوري SiC در مقياس نانومتر با روش هاي AFM و RBS-Channeling
پديدآورندگان
باقي زاده، علي سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات هسته اي - بخش فيزيك هسته اي , آقا علي گل، داود سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات هسته اي - بخش فيزيك هسته اي , فرمهيني فراهاني، محمد سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات هسته اي - بخش فيزيك هسته اي , لامعي رشتي، محمد سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات هسته اي - بخش فيزيك هسته اي , شيرواني، مهرداد سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات ليزر - بخش ليزر نيمه هادي
كليدواژه
كاشت هيدروژن , شبكه بلوري SiC , مقياس نانومتر , روش هاي AFM و RBS-Channeling
سال انتشار
شهريور 1385
عنوان كنفرانس
كنفرانس فيزيك ايران ۱۳۸۵
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
در اين مقاله اثر كاشت هيدروژن در ساختار سطحي بلور 6H-SiC مورد بررسي قرار گرفته است . سطح بلور در دو ناحيه كاشت شده و بدون كاشت با كمكAFM بررسي و مقايسه شده است . كيفيت ساختار بلوري و اثر كاشت هيدروژن در عمق بلور با استفاده از آناليز RBS-Channeling مطالعه گرديده است افزايش نايكنواختي سطح در ناحيه كاشت شده را نسبت به ناحيه بدون كاشت نشان مي دهند . اما نشانه اي از تاثير كاشت بر روي نانوخراش AFM نتايج آزمايش هاي ايجاد شده بعد از فرآيند زدايش ديده نمي شود . همچنين، ايجاد آسيب شبكه اي بر اثر برخورد هيدروژن با اتم هاي سيليكان و كربن در نتايج آناليز كانال زني ديده مي شود
كشور
ايران
تعداد صفحه 2
4
از صفحه
1
تا صفحه
4
لينک به اين مدرک