بررسي اثر كاشت هيدروژن بر روي شبكه بلوري SiC در مقياس نانومتر با روش هاي AFM و RBS-Channeling

در اين مقاله اثر كاشت هيدروژن در ساختار سطحي بلور 6H-SiC مورد بررسي قرار گرفته است . سطح بلور در دو ناحيه كاشت شده و بدون كاشت با كمكAFM بررسي و مقايسه شده است . كيفيت ساختار بلوري و اثر كاشت هيدروژن در عمق بلور با استفاده از آناليز RBS-Channeling مطالعه گرديده است افزايش نايكنواختي سطح در ناحيه كاشت شده را نسبت به ناحيه بدون كاشت نشان مي دهند . اما نشانه اي از تاثير كاشت بر روي نانوخراش AFM نتايج آزمايش هاي ايجاد شده بعد از فرآيند زدايش ديده نمي شود . همچنين، ايجاد آسيب شبكه اي بر اثر برخورد هيدروژن با اتم هاي سيليكان و كربن در نتايج آناليز كانال زني ديده مي شود