شماره ركورد كنفرانس :
3298
عنوان مقاله :
بررسي زبريِ سطوح لايه هاي نازك مس انباشت شده روي شيشه نسبت به آهنگ لايه گذاري
پديدآورندگان :
زنده نام، اكبر دانشگاه اراك - گروه فيزيك - آزمايشگاه لايه نشاني , خانقايي، منيژه دانشگاه اراك - گروه فيزيك - آزمايشگاه لايه نشاني , جعفري، غلامرضا -2 دانشگاه شهيد بهشتي،دانشكده ي فيزيك
كليدواژه :
سطوح لا يه هاي نازك , مس , شيشه , آهنگ لايه گذاري
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران ۱۳۸۵
چكيده فارسي :
از آنجا كه صاف وصيقل و زبر بودن سطوح لا يه هاي نازك بستگي به روش وشرايط انباشت لايه دارد،در اين كار تجربي لايه هاي نازك مس بـه روش كنـد وپـاش مگنترون روي شيشه هاي بي ريخت با آهنگ هاي متنوع لايه نشاني انباشت گرديده اند . با بهـره گيـري از ميكروسـكوپ نيـروي اتمـي (AFM) ،زبريِ سطوح ولايه هاي مذكور براي ضخامت هاي متفاوت لايه ي نازك مورد مطالعه قرار گرفته و تأثير عوامل انباشـت ( شـدت جريان،ولتـاژ و فشار ) روي آهنگ لايه گذاري و اثر آن روي زبري بررسي شده است و روابط آرويني نيز بين زبري و نرخ انباشت حاص ل گرديده كـه بـا نتـايج تجربـي همخـوانيِ خوبي نشان مي دهد
