ساخت سوِراخهاي نانو ساختار دو سر باز به كمك نانولوله هاي كربني بر روي غشاي نازك شده بر روي زير لايه سيليسيوم (100)

نانولوله هاي عمودي بر روي غشاي كوارتز به روش DC-PECVD رشد داده شده اند . براي ساخت اين غشاء ، ويفر سيليسيوم با جهت بلوري (100) به صورت نا همسانگرد در محلول 8 مولار KOH زدايش شده است . مخلوطي از گازهاي هيدروژن و استيلن براي رشد نانولوله هاي كربني استفاده شده و لايه اي از نيكل به عنوان كاتاليست بكار رفته است . نانولوله هاي حاصل با لايه نشاني اكسيد تيتانيوم به روش تبخير شيميايي و در فشار اتمسفر، پوشانده شده اند . بعد ازمرحله صيقل دادن و سوزاندن نمونه و پس از برداشتن غشاء ، نانو ساختارهايي با دو سر باز، به دست آمده است . تحليل SEM براي مطالعة اين ساختارهاي نانومتري مورد استفاده قرار رفته است .