اثرفشارو توان بر مشخصات لايه هاي كربن _ مس

لايه هاي نازك كربن _ مس را با استفاده از گاز استيلن بروش نشست از فاز بخار شيميايي با پلاسماي ناشي از امواج راديويي بر روي زير لايه هايي از جنس شيشه و سيليكن در دماي اتاق رشد داديم . . لايه ها به كمك طيف سنجي امواج ايكس(XPS )پس پراكندگي راترفورد (RBS) وميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM ) مشخصه يابي شدند . اثر فشار وتوان لايه نشاني بر نسبت مس به كربن اين لايه ها بررسي شد . در توان ثابت , كاهش فشاربا افزايش نسبت مس به كربن همراه است ودر فشارثابت , با اافزايش توان اين نسبت افزايش مي يابد . همچنين تغييرات فشار وتوان بر اندازه نانو ذرات وتشكيل خوشه هاي مس تاثير داردو شرايط بهينه براي تشكيل اين نانو ذرات معرفي مي شود