اثر بمباران يوني زيرلايه استيل 304 برروي رشد نانو لوله هاي كربني باروش انباشت شيميايي حرارتي

Effect of ion bombardment of the SS 304 substrate on the growth of carbon nanotubes by thermal chemical vapor deposition method

در اين مقاله فرايند رشد نانو لوله هاي كربني با استفاده از گاز استيلن و به روش انباشت شيميايي حرارتي (TCVD) مورد بررسي قرار گرفته است . زير لايه هاي استفاده شده از جنس استيل 304 هستندكه به وسيله يون هاي آرگون توليد شده با استفاده از چشمه يوني كافمن با شدت هـاي يكـسان و انـرژي هـاي متفـاوت بمبـاران شـده است . بعد ازانجام اين فرايندبر روي زير لايه ها در محيطي از گازهاي هيدروژن و آمونياك و استيلن نانو لوله هاي كربن ي رشد داده شد . نمونه هاي رشد داده شده بوسيله و اسپكتروسكوپي رامان بررسي شدو نيزبراي مطالعه برروي ساختار زير لايه هاي آماده سـازي شـده از ميكروسـك وپ نيـروي (SEM) ميكروسكوپ الكتروني روبشي اتمي (AFM) استفاده شد . در نهايت نتايج آناليز (AFM) نشان داد كه بمباران با انرژيهاي بالاتر دانه هاي ريزتري را در سطح زير لايه ايجاد نموده ودر نتيجه امكـان رشد چگالتر نانو لوله ها فراهم شده است .

In this paper the growth behavior of carbon nano-tubes (CNTs) synthesized from C2H2 using thermal chemical vapor deposition(TCVD) method has been investigated. We examined ion bombarded stainless steel plates ,which have been bombarded by the same doses but different energies of Ar ions produced by a Kaufman ion source .The nanotubes growth was performed in a mixed environment of different gases (H2 ,NH3 and C2H2). All samples were analyzed by Raman spectroscopy and scanning electron microscopy (SEM) and in order to study the pretreated substrates atomic force microscopy (AFM) was used . AFM results showed that ion bombardment by higher energies make grains smaller on the surface of substrates and subsequently cause to denser growth of carbon nanotubes .