p109. بررسي ويژگي هاي فيزيكي (ساختاري) لايه هاي نازك قلع بر روي مس به روش پرتو الكتروني

Investigation of physical properties of the Sn thin film deposited on Cu by Electron Beam Technique

در اين پژوهش، لايه هاي نازك مس و قلع با ضخامت هاي مختلف به وسيله فرآيند انباشت با پرتوي الكتروني تهيه گرديده، به اين صورت كه ابتدا زير لايه هاي گرد شيشه اي به ضخامت 1/2 ميليمتر و قطر ۱۵۰ ميليمتر توسط دستگاه شستشوي آلتراسونيك تميز شد، سپس نمونه ها و زيرلايه هاي تميز شده در جاهاي مخصوص خود در دستگاه لايه نشاني قرار داده شده و فرآيند لايه نشاني آغاز شد. بعد از اتمام فرآيند لايه نشاني نمونه ها در دماي 110C و در فشار اتمسفر پخت داده شدند، سپس لايه هاي پخت داده شده راتحت آناليزهايAFM , XRD، SEM قرار داده و نهايتا از نتيجه ي آناليزها مشخص شدكه نانو ذرات مس-قلع با موفقيت ساخته شده است.

In this study thin films of copper and tin with different thicknesses were prepared by the Electron-Beam accumulation process, so that the first rounded glass substrate with a thickness of 1.2 mm and a diameter of 150 mm was cleaned by an ultrasonic washing machine. The underlying layers of any contamination and dust. Then the samples and substrates were placed in their own place in the layer machine, and the process lets start the address layer. After the completion of the lamellar process, the samples were cooked at 110°C and at atmospheric pressure, then the cooking and baking mixtures were subjected to XRD، SEM and AFM analyzes, and finally, the results of the analyzes revealed that nanoparticles of copper-tin were successfully built.