ساخت و مشخصه يابي حسگر گاز QCM با پوشش نيترات لانتانيوم براي آشكارسازي بخار اسيد هيدروفلوئوريك

يكي از انواع محبوب حسگرهاي جرمي، حسگر ريزترازوي كريستال كوارتز (QCM) است. اين حسگر به تغييرات جرم در سطح حسگر حساس است. حساسيت بالا، انتخابگري مناسب و قيمت ارزان از مهم ترين ويژگي هاي اين حسگرها هستند. از طرفي پايش ايمني محيط و تشخيص گازهاي سمي در محيط، نياز به يك سيستم تشخيص ساده، سريع، برخط و ارزان است. در اين پروژه به ساخت و مشخصه يابي حسگرهاي QCM براي آشكارسازي گازهاي مضر در محيط هاي صنعتي و به طور خاص بخار هيدروفلوئوريك اسيد پرداخته شده است. براي اولين بار است كه كاربرد اين حسگر در تشخيص بخار HF بررسي مي شود. براي ساخت حسگر از كريستال 6 MHz و روش لايه نشاني قطره-اي استفاده شده است. در اين تحقيق براي ساخت حسگر از محلول نيترات لانتانيوم به منظور پوشش دهي سطح الكترود نقره استفاده شده است. مشخصات ساختار لايه جاذب با استفاده از روش FESEM آزموده شد. طبق نتايج حاصل، اين حسگرها از حساسيت، انتخابگري و حد تشخيص مناسبي برخوردار هستند.