شماره ركورد كنفرانس :
5320
عنوان مقاله :
مطالعات طيف سنجي در تاثير پلاسما بر نانوساختارهاي دوبعدي سولفيد تنگستن
عنوان به زبان ديگر :
Spectroscopic investigations of plasma treated WS2 layered structures
پديدآورندگان :
زلفي مجتبي گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه بين المللي امام خميني (ره)، قزوين، ايران , مرتضوي زهرا گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه بين المللي امام خميني (ره)، قزوين، ايران , ريحاني علي گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه بين المللي امام خميني (ره)، قزوين، ايران , پروين پرويز parvin@aut.ac.ir گروه آموزشي مهندسي انرژي و فيزيك، دانشگاه صنعتي امير كبير،تهران،ايران
كليدواژه :
نانوساختارهاي سولفيد تنگستن , رسوب دهي بخار شيميايي گرمايي , پلاسماي گاز آرگون
عنوان كنفرانس :
سومين كنفرانس ملي ميكرونانوفناوري
چكيده فارسي :
در اين پژوهش، نانوساختارهاي دوبعدي سولفيد تنگستن به روش رسوب دهي بخار شيميايي گرمايي در دماي ١١۰۰ سانتيگراد با استفاده از گاز حامل آرگون بر روي زيرلايه هاي سيليكوني در كوره سه ناحيه اي رشد داده شدند و پس از آن تحت تاثير پلاسماي گاز آرگون به مدت زمان ١٠ دقيقه قرار گرفتند. نتايج حاصل از مشخصه يابي پراش اشعه ايكس، طيف سنجي فرابنفش-مرئي و طيف سنجي رامان حاكي از تعداد لايه هاي نانوساختارهاي دوبعدي سولفيد تنگستن در اثر پلاسما بود.
چكيده لاتين :
In this study, two dimensional nanostructures of WS2 are grown on silicon substrates by thermal chemical vapor deposition at 1100 °C using argon carrier gas in three-zone oven. After that, the nanostructures are treated by DC argon gas plasma in 10 min. The XRD, UV-Visible absorption and Raman spectroscopy indicate reducing the numbers of layers of WS2 2D-nanostructures after the plasma treatment.
