ساخت نانوساختارهاي دو بعدي دي سولفيد موليبدن آلاييده با پالاديوم حاصل از سولفوريزاسيون لايه موليبدن و پالاديوم

Fabrication of Pd-doped molybdenum disulfide 2D nanostructures by using sulfurization of Molybdenum and Palladium layers

در اين مقاله نانوساختار هاي دو بعدي دي سولفيد موليبدن و دي سولفيد موليبدن آلاييده با فلز پالاديوم، با استفاده از عمل سولفوريزاسيون لايه ي توليد شده از كندوپاش جريان مستقيم بر روي زير لايه ي SiO2/Si رشد داده شده و مورد بررسي قرار گرفتند. به طوري كه در مرحله اول با استفاده از تكنيك كندوپاش ضخامت هاي مشخصي از موليبدن و پالاديوم بر روي زيرلايه ي مورد نظر، لايه نشاني شده سپس در مرحله ي بعد با استفاده از روش رسوب بخار شيميايي گرمايي در حضور گوگرد منجر به توليد دي سولفيد موليبدن و دي سولفيد موليبدن آلاييده با پالاديوم شد. پس از فرايند رشد، براي تائيد تشكيل لايه ي مورد نظر و بررسي خواص كريستالي از پراش اشعه ايكس و براي بررسي خواص اپتيكي آن، از طيف سنجي فرابنفش مرئي استفاده شد.

In this paper, Molybdenum disulfide and Molybdenum disulfide doped Palladium are grown on SiO2/Si substrate using sulfurization of the obtained layer from DC magnetron sputtering. At first, specific thicknesses of molybdenum and palladium are deposited on the substrate by the sputtering technique. Then, by using thermal chemical vapor deposition and sulfur powder, Molybdenum disulfide and Molybdenum disulfide doped Palladium is produced. X-ray diffraction is used to confirm the formation of the desired layer and study its crystal properties. Moreover, Uv-vis spectroscopy is applied to investigate its optical properties.