شماره ركورد كنفرانس :
2308
عنوان مقاله :
پليمريزاسيون پلاسمايي با فركانس راديويي لايه نازك هاي سيليكون اكسي نيترايد در دماي پايين با استفاده از تركيب TEOS/O2/N2
پديدآورندگان :
شه پناه مرجان نويسنده , فيروزجاه مرضيه نويسنده , مهدي كيا حامد نويسنده , شكري بابك نويسنده
تعداد صفحه :
4
كليدواژه :
پليمريزاسيون , فركانس راديويي , لايه نازك هاي سيليكون اكسي نيترايد , دماي پايين , تركيب TEOS/O2/N2 , پلاسما
سال انتشار :
1395
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران
زبان مدرك :
فارسی
شماره مدرك كنفرانس :
4304410
سال انتشار :
1395
از صفحه :
1
تا صفحه :
4
سال انتشار :
1395
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=45740
