PULL-IN ANALYSIS OF ELECTROSTATICALLY ACTUATED NANO/MICROMIRRORS CONSIDERING VAN DER WAALS FORCE
پديدآورندگان :
Moeenfard H. نويسنده , Darvishian Ali نويسنده , Zohoor Hassan نويسنده Professor, Sharif University of Technology, Tehran, Iran , Ahmadian M. T. نويسنده
تعداد صفحه :
7
كليدواژه :
Nano/micromirror , electrostatic actuation
عنوان كنفرانس :
مجموعه مقالات بيستمين كنگره بين المللي سالانه مهندسي مكانيك ايران