شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
ساخت موجبر در كريستالهاي فوتونيكي سيليكوني با تركيب روشهاي ليتوگرافي تداخلي، ليتوگرافي با ماسك و لايه برداري شيميايي
پديدآورندگان :
اسدي رضا نويسنده , باقري شاهين نويسنده , خواجه مهدي نويسنده , فاضلي مهدي نويسنده كارشناس ارشد حسابداري، دانشگاه آزاد اسلامي واحد اراك , پيروي محمد نويسنده دانش آموخته كارشناسي ارشد دانشگاه زابل
كليدواژه :
موجبر , كريستال فوتونيكي , ليتوگرافي تداخلي
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
report iconخلاصه مقاله:
در اين مقاله يك روش ساده براي ايجاد موجبر در كريستالهاي فوتونيكي سيليكوني ساخته شده با روش ليتوگرافي تداخلي معرفي مي شود. دراين روش ابتدا الگوي كيستال فوتونيكي با روش ليتوگرافي تداخلي در يك لايه كروم ايجاد و سپس با روش ليتوگرافي نوري با ماسك، طرح موجبر به لايه كروم اضافه مي شود. سپس با استفاده از روش لايه برداري شيميايي طرح موجبر و كريستال در لايه سيليكون ايجاد مي شوند.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
