شماره ركورد كنفرانس :
3091
عنوان مقاله :
محاسبه بازده كندوپاش يون نئون بر روي طلا در انرژيها و زواياي برخورد گوناگون
پديدآورندگان :
دراني احسان نويسنده , عباسي پيمان نويسنده دانشكده مهندسي مكانيك- دانشگاه تعبريز
كليدواژه :
اسپايك , كندوپاش كاتدي , خودكندوپاش , خود بمباران , كندوپاش
عنوان كنفرانس :
همايش ملي فيزيك اصفهان
چكيده فارسي :
با توجه به اهميتي كه لايه هاي نازك طلا در ادوات نيمه‌هادي دارند و اكثر تماسهاي اهمي بصورت عملي از لايه نشاني طلا بر روي مواد نيمه هادي ايجاد مي‌شود، در اكثر موارد اين لايه نشاني به روش كندوپاش انجام مي‌شود. اهميت بازده كندوپاش در دو زمينة سازندگان دستگاههاي لايه نشاني و سازندگان ادوات نيمه هادي اهميت دارد كه در اين مقاله بر وجه دوم تمركز شده است. در اين مقاله از يونهاي گاز نئون براي لايه‌نشاني طلا استفاده شده است. اين گاز در انرژيهاي مختلف و در زواياي گوناگون به سوي هدف (طلا) شليك شده است و بازدهي كندوپاش اندازه‌گيري شده و با نتايج شبيه‌سازي نيز مقايسه شده است كه تطابق خوب نتايج شبيه‌سازي شده را نشان مي‌دهد.
شماره مدرك كنفرانس :
2445947
