بررسي افزايش دماي سطح بواسطه بمباران ذرات باردار در محيط پلاسما

در این تحقیق به بررسی اثر بمباران ذرات باردار (یونها و الكترونها) بر افزایش دمای سطح در محیط پلاسما پرداخته شده وچگالی شار انرژی ناشی از ذرات باردار بر روی زیرلایه مورد مطالعه قرار میگیرد. نتایج بدست آمده نشان میدهد كه چگالی شار الكترون ها و انرژی آنها در مقایسه با یونها ناچیز بوده و در قیاس با آنها نقشی در افزایش دمای سطح ندارند. نیز اگرچه كه در محیط لایه نشانی پلاسمایی، چگالی شار یونها با افزایش ولتاژ زیرلایه كاهش می یابد اما افزایش انرژی آنها با بایاس،منجر به افزایش دمای زیرلایه می شود. افزایش درجهی یونیزاسیون پلاسما نیز منجر به افزایش دمای سطح می گردد.