مطالعه لايه هاي نازك نانو ساختار TiO2 و بررسي خواص حسگري آنها

The study of nanostructured TiO2 thin films and properties of their sensor

لایه های نازك نانوساختار تیتانیوم دی اكسید (TiO2) توسط روش اسپری پایرولیزیز روی زیر لایه های شیشه ای كه از قبل گرم شده اند لایه نشانی شده اند. نیمه رساناهای اكسید فلزی مانند TiO2درمیان حسگرهای گاز اكسیدهای فلزی لایه های نازك به طور گسترده استفاده می شوند. مراحل مكانیكی شامل تغییرات رسانایی حسگرهای اكسید های فلزی مورد مطالعه قرار گرفته اند. نتایج برای حسگر گاز لایه های TiO2ارائه شده اند. كاهش اكسیژن به منظور افزایش رسانایی لایه های حسگر TiO2 در معرض گاز اتانول مطالعه شده است. دمای كار مناسب ، حساسیت ، زمان پاسخ و بازیابی سنسور های گاز لایه های نازك TiO2برای شناسایی اتانول مورد مطالعه قرار گرفته است.

Nanocrystalline titanium dioxide (TiO2) thin films have been deposited by a spray pyrolysis technique on preheated glass substrates. Metal-oxide semiconductors such as TiO2 are among the most widely used materials for thin film-based conductometric gas sensors. Results are presented for TiO2 gas sensing films. Reduction of surface oxygen is proposed as the dominant mechanism for the increase in conductance in TiO2 sensing films upon exposure to ammonia. A suitable operating temperature, sensitivity response and recovery time of the TiO2 thin film gas sensor was studied for sensing ethanol.