مشخصه يابي لايه نانومتري اكسيد اينديوم آلاييده باقلع

در این پژوهش لایه نازك اكسید ایندیوم آلاییده با قلع به روش تبخیر با پرتو الكترونی بر روی بسترهی شیشه ای تمییز شده در دمای اتاق تهیه شد و سپس لایه در دمای 300°c به مدت 1ساعت در مجاورت هوا بازپخت شد. ویژگی های فازی لایه به وسیله ی پراش اشعه ی ایكس (XRD) مورد بررسی قرار گرفت.تحلیل مورفولوژی سطح لایه توسط میكروسكوپ الكترونی روبشی (SEM) انجام پذیرفت. همچنین با استفاده از طیف سنج نوری طیف های نوری بازتاب و تراگسیل در محدودهی طول موجی 2500-250 نانومتر ثبت شد. نتایج حاصل از XRD ساختار بلوری بعد از باز پخت و ساختار بیشكل قبل از آن را تأیید میكند. اندازه گیریهای طیف سنجی شفافیت بالای 80 %را در ناحیهی مرئی نشان میدهد. همچنین خواص اپتیكی لایه با استفاده روشكرامرز-كرونینگ مورد بررسی قرار گرفت.