شماره ركورد كنفرانس :
2308
عنوان مقاله :
كاربرد سيليكون حكاكي شده به وسيله محلول TMAH در فن آوري MEMS
پديدآورندگان :
مظاهري آذردخت نويسنده , عليبازي ابوذر نويسنده , چرمي مرتضي نويسنده , اميدواري ساره نويسنده
تعداد صفحه :
4
كليدواژه :
سيليكون , فناوري MEMS , محلول TMAH , تترا ميتيل آمونيم هيدروكسيد
سال انتشار :
1395
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران
زبان مدرك :
فارسی
شماره مدرك كنفرانس :
4304410
سال انتشار :
1395
از صفحه :
1
تا صفحه :
4
سال انتشار :
1395
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=85434
