شماره ركورد كنفرانس :
2011
عنوان مقاله :
بررسي خواص نوري لايه هاي نيتريد سيليكون لايه نشاني شده به شيوه كندوپاش RF در محيط پلاسماي آرگ ن
پديدآورندگان :
معنوي زاده نگين نويسنده , اصل سليماني ابراهيم نويسنده گروه مهندسي برق وكامپيوتر، دانشكده فني، دانشگاه تهران , ملكي هادي نويسنده , افضل زاده رضا نويسنده
تعداد صفحه :
5
كليدواژه :
پلاسماي آرگن , درصد عبور نوري
عنوان كنفرانس :
سيزدهمين كنفرانس سالانه اپتيك و فوتونيك ايران
زبان مدرك :
فارسی
شماره مدرك كنفرانس :
1845201
سال انتشار :
1385
از صفحه :
1
تا صفحه :
5
سال انتشار :
0
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=9011
