شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
آناليز نمايه عمق لايه هاي ميكرومتري با استفاده از روش طيف سنجي تخليه القايي ليزري (LIBS) و مقايسه آن با نتايج شبيه سازي
پديدآورندگان :
افخمي اردكاني هانيه نويسنده تهران، اوين، دانشگاه شهيد بهشتي، پژوهشكده ليزر و پلاسما , مموزاده عاطفه نويسنده , توسلي حسن نويسنده تهران، اوين، دانشگاه شهيد بهشتي، پژوهشكده ليزر و پلاسما
كليدواژه :
نمايه عمق , نرخ كندگي , طيف سنجي تخليه القايي ليزري , ضخامت سنجي , تفكيك پذيري عمق
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
به منظور ضخامتسنجي لايه مس بر زيرلايه آلومينيوم (LIBS) چكيده - در اين مقاله به مطالعه روش طيفسنجي تخليه القايي ليزري
5 به منظور ايجاد كندگي در نمونهها به كار ns با طولموج 266 نانومتر و طولپالس Nd:YAG پرداخته ميشود. هارمونيك چهارم ليزر
ميرود. اثر انرژيهاي مختلف ليزر و ضخامت لايه بر نرخ كندگي و تفكيكپذيري عمق مورد بررسي قرار ميگيرد. نمايههاي عمق بهنجار
مقايسه ميگردند. به منظور شبيهسازي آناليز نمايه عمق نمونههاي فلزي، ( NC ) با مورد غلظت بهنجار شده (NI) شدهي شدت طيفي
مدل كندگي ليزري چندپالسي در سه بعد معرفي ميگردد. ضريب همبستگي بالاي 0.98 ، بين نمايههاي عمق حاصل از مدل و آزمايشات
بدست آمدند، ملاحظه گرديد. NC كه بر مبناي روش
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
