بررسي خواص ساختاري و فيزيكي فيلم هاي نيتريد زيركونيوم لايه نشاني شده بر روي( Si(100 به روش كندوپاش يوني

report iconخلاصه مقاله: در اين كار تحقيقاتي فيلمهاي نازك نيتريد زيركونيوم (ZrN) به روش كندوپاش يوني با نسبت هاي مختلف گاز نيتروژن برروي زيرلايه (100)Si لايه نشاني شده اند. نمونه ها توسط طيف سنج پس پراكندگي رادرفورد (RBS) صخامت سنجي شده و بوسيله آناليز XRD ساختار سنجي شده و در نهايت به كمك طيف سنج نوري ميزان و نحوه بازتابش نوري لايه هاي مختلف مورد بررسي قرار گرفته است. سپس نمونه ها در مجاورت هيدروژن و دماي 800C بازپخت شده و تغييرات بوجود آمده درنمونه ها بررسي شده است. با توجه به نمودارها تشكيل فاز (111)ZrN مشهود است و بعد از عمليات حرارتي شاهد تشكيل ZrH, ZrO2 نيز هستيم كه باعث تغيير ساختار نمونه ها شده است. كلمات كليدي: