شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
تهيه لايه هاي نازك نيتريد مس Cu3N به روش كندوپاش مگنتروني واكنشي dc و بررسي خواص آنها با تغيير توان تخليه دستگاه
پديدآورندگان :
كريمي بيان نويسنده كارشناس ارشد فلسفه , بيدادي حسن نويسنده دانشكده فيزيك دانشگاه تبريز، تبريز , هاديان فرامرز نويسنده
كليدواژه :
گاف اپتيكي , توان تخليه , فيلمهاي نازك نيتريد مس , كندوپاش مگنتروني واكنشي
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
دراين كار تجربي لايه هاي نازك نيتريد مس به روش كندوپاش مگنتروني واكنشي dc برروي زيرلايه هاي شيشه اي تحت توانهاي تخليه الكتريكي متفاوت و دماي ثابت زيرلايه نهشته شده اند. در اين جا وابستگي چگالي، مقاومت ويژه الكتريكي و گاف اپتيكي فيلمها به توان تخليه نشان داده شده است و علل تغييرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
