ساخت آندهاي لايه نازك اكسيد قلع نانوساختار براي ميكروباتريهاي يون- ليتيمي

در اين تحقيق، لايه هاي نازك اكسيد قلع نانو ساختار به روش لايه نشاني اشعه الكتروني به عنوان آند براي ميكرو باتري هاي يونليتيمي بر روي زير لايه هايي از جنس شيشه لايه نشاني شد. پراش اشعه ايكس از لايه هاي نازك ايجاد شده وجود اكسيد قلع SnO آمورف را تاييد كرد. براي رسيدن به ساختار و تركيب شيميايي دلخواه (SnO2) دو سيكل عمليات حرارتي متفاوت به ترتيب در دماي 250 درجه سانتيگراد به مدت 2 ساعت و در دماي 500 درجه سانتيگراد و به مدت 10 ساعت بر روي فيلم هاي نازك تشكيل شده انجام شد كه منجر به ايجاد ساختار كريستال SnO و SnO2 به ترتيب در دو دماي 250 و 500 درجه سانتيگراد شد. براي بررسي توپوگرافي سطح از ميكروسكوپ نيروي اتمي استفاده شد. تصاوير ميكروسكوپ نيروي اتمي نشان دادند كه ساختار فيلم هاي نارك ايجاد شده بعد از لايه نشاني بسيار همك و ريز مي باشد اما با اعمال عمليات حرارتي بر روي آنها ساختار فيلم ها به تدريج خشن شد. در انتها ارزيابي الكتروشيميايي آندهاي لايه نازك ايجاد شده به صورت گالوانواستاتيكي در دانسيته جريان 10 ميكرو آمپر بر سانتيمتر مربع و در محدوده پتانسيل 0تا 1.7 ولت انجام شد. ارزيابي هاي الكترو شيميايي نشان دادند كه با افزايش تعداد سيكل هاي شارژ/دشارژ ظرفيت ويژه آندهاي لايه نازك اكسيد قلع به مقدار 69.5 µAhcm-2µm-1 كاهش مي يابد.