مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Dissolution of copper thin films in hydroxylamine-based solutions

Author/Authors :

Wayne Huang، نويسنده , , Subramanian Tamilmani، نويسنده , , Srini Raghavan، نويسنده , , Robert Small، نويسنده ,

DocumentNumber :

1284927

Title Of Article :

Dissolution of copper thin films in hydroxylamine-based solutions

شماره ركورد :

9238

From Page :

365

NaturalLanguageKeyword :

Hydroxylamine , copper CMP , Corrosion inhibitors

JournalTitle :

Studia Iranica

To Page :

372

To Page :

372

Link To Document :