DocumentCode :
1173274
Title :
Giant integrated-circuit production plant
Volume :
13
Issue :
12
fYear :
1967
fDate :
12/1/1967 12:00:00 AM
Firstpage :
469
fLanguage :
English
Journal_Title :
Electronics and Power
Publisher :
iet
ISSN :
0013-5127
Type :
jour
DOI :
10.1049/ep.1967.0324
Filename :
5178363
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