DocumentCode :
1922840
Title :
Coulomb Blockade in Thin SOI Nanodevices
Author :
Fraboulet, D. ; Jehl, X. ; Mariolle, D. ; Le Royer, C. ; Le Carval, G. ; Scheiblin, P. ; Rivallin, P. ; Mollard, L. ; Deleroyelle, D. ; Nier, M.E. ; Toffoli, A. ; Molas, G. ; De Salvo, B. ; Deleonibus, S. ; Sanquer, M.
Author_Institution :
CEA-LETI, Grenoble, France
fYear :
2002
fDate :
24-26 September 2002
Firstpage :
395
Lastpage :
398
Keywords :
Conductivity; Electrons; Etching; Fabrication; Geometry; MOSFET circuits; Quantum dots; Resists; Silicon; Wires;
fLanguage :
English
Publisher :
ieee
Conference_Titel :
Solid-State Device Research Conference, 2002. Proceeding of the 32nd European
Print_ISBN :
88-900847-8-2
Type :
conf
DOI :
10.1109/ESSDERC.2002.194951
Filename :
1503881
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