DocumentCode :
3820480
Title :
Air isolation for better microcircuits
Volume :
16
Issue :
5
fYear :
1970
fDate :
5/1/1970 12:00:00 AM
Firstpage :
186
Journal_Title :
Electronics and Power
Publisher :
iet
ISSN :
0013-5127
Type :
jour
DOI :
10.1049/ep.1970.0166
Filename :
5179424
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