Record number :
5466
Title :
Enabling technologies for MEMS and nanodevices
Publication :
Weinheim Wiley VCH
Published Year :
2013
Fierst Pages :
xll
Main Pages :
427
Collation :
xll، 427، illus
Series :
Advanced micro and nanosystems; 1
Reprint :
False
Added entries :
AU ویراستار Fedder Gary K. , AU ویراستار Brand Oliver , AU ویراستار Baltes Henry , AU ویراستار Hierold Christofer , AU ویراستار Korvink Jan G. , AU ویراستار Tabata Osamu
Editor :
Fedder Gary K.
Subject :
Nanotechnology , Microelectromechanical systems
Class :
620
Number :
5
CutterNumber :
E 5
ISBN :
978-3-527-33498-8
Language :
انگليسي
Link To Document :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=7&DC=5466