• Record number
    5466
  • Title

    Enabling technologies for MEMS and nanodevices

  • Publication
    Weinheim Wiley VCH
  • Published Year
    2013
  • Fierst Pages
    xll
  • Main Pages
    427
  • Collation
    xll، 427، illus
  • Series
    Advanced micro and nanosystems; 1
  • Reprint
    False
  • Added entries
    AU ویراستار Fedder Gary K. , AU ویراستار Brand Oliver , AU ویراستار Baltes Henry , AU ویراستار Hierold Christofer , AU ویراستار Korvink Jan G. , AU ویراستار Tabata Osamu
  • Editor
    Fedder Gary K.
  • Subject

    Nanotechnology , Microelectromechanical systems

  • Class
    620
  • Number
    5
  • CutterNumber
    E 5
  • ISBN
    978-3-527-33498-8
  • Language
    انگليسي
    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=7&DC=5466