ساخت لايه هاي نازك نانو ساختارTiO2-SnO2 تهيه شده به روش هاي باريكه الكتروني و سل ژل به عنوان حسگر اتانول

Production of TiO2-SnO2 nano structural thin films prepared by electron beam and sol-gel methods as ethanol sensor

لايه هاي نازك نانوساختار 2-SnO2 TiOبروي زيرلايه شيشه به روش هاي باريكه الكتروني و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاري سطح، مورفولوژي و عبوراپتيكي لايه ها توسط پراش اشعه ايكس، ميكروسكوپ الكتروني روبشي و اسپكترومتر UV/VIS/NIR انجام پذيرفت. ضخامت لايه هاي نازك كمتر از 300 نانومتر اندازه گيري گرديد. اندازه دانه ها در روش باريكه الكتروني 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمين زده شد. خواص حسگري لايه هاي نازك نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ شارش cc/min 2400، 2000 و 1800 دماي 200درجه سانتيگراد بررسي گرديد.

Nanostructured TiO2-SnO2 thin-film ethanol sensors have been fabricated on glass substrates using electron beam and sol-gel methods. The surface structure, morphology and optical transmission characteristics of the films were analyzed by X ray diffraction, scanning electron microscopy and UV/VIS/NIR spectrometry. The TiO2-SnO2 films were less than 300 nm thick and consisted of nanocrystallines about 20 nm and 33nm for electron beam and sol-gel methods respectively. The sensing characteristics of TiO2-SnO2 nano structure thin film in electron beam and sol-gel methods, in the flow rate of ethanol at 1800, 2000 and 2400 cc/min at the operating temperature of 200˚C were measured