بررسي اثر پالس بر خواص ساختاري و اپتيكي لايه‌هاي نازك اكسيد موليبدن در ‌لايه‌نشاني به روش كندوپاش مغناطيسي پالس قدرت بالا (HiPIMS)

Investigation of pulse width effect on structural and optical properties of molybdenum oxide thin films deposited by HiPIMS

در اين تحقيق لايه­ هاي نازك اكسيد موليبدن به روش كندوپاش مغناطيسي پالس قدرت بالا در پالس ­هاي مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 ميكروثانيه بر روي زيرلايه ­هاي شيشه ­اي در تركيبي از گازهاي واكنشي و غيرواكنشي با نسبت O2/Ar= 0.66 ‌لايه‌نشاني شده‌اند و مورد مطالعه ساختاري و اپتيكي قرار گرفته ­اند. تركيب شيميايي اين اكسيدهاي فلزي با آناليز طيف­ سنجي فوتوالكترون پرتوي‌ ايكس (XPS) تعيين و به صوررت MoOx با x هاي مختلف مشخص شدند. با بررسي خواص اپتيكي مشخص گرديد كه نقصان اكسيژن در پالس­ه اي طولاني­ تر موجب كاهش متوسط عبور اپتيكي و همچنين كاهش گاف نوار اپتيكي لايه ­ها مي­شود

In this study, molybdenum oxide thin films are deposited by using high power impulse magnetic sputtering (HiPIMS) at different pulses length of 60, 90, 120, 150 and 180 μs on glass substrates in a combination of reactive and non-reactive gases with a ratio of O2/Ar = 0.66. The structural and optical properties of these coatings are studied. The chemical composition of these metal oxides is determined by analyzing X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and are determined by MoOx stoichiometry with different x-values. By studying the optical properties, it is found that the oxygen deficiency with increasing pulse width cause to reduce the average of optical transmittance and also decrease the optical band gap of coatings.