عنوان مقاله :
تشديدگرهاي الكترومكانيكي بر پايه نانوساختارها
پديد آورندگان :
فردين دوست، سميه دانشگاه صنعتي شريف - پژوهشكده علوم و فناوري نانو , ايرجي زاد، اعظم دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شريف , سروري، رضا دانشگاه صنعتي شريف - دانشكده برق
كليدواژه :
سيستم الكترومكانيكي , نانوساختار , حسگري جرم
چكيده فارسي :
اخيراً ساخت تشديدگرها در ابعاد نانو با بسامد تشديد بالا يكي از موضوع هاي مورد تحقيق و توجه مي باشد. جذابيت اين ساختارها در توانايي شان به عنوان حسگر، فعالساز و قابليت مكانيكي شان در ابعاد نانو مي باشد. در اين مقاله مروري بر سيستم هاي الكترومكانيكي معرفي شده بر پايه نانوساختارهاي متنوع، انواع روش هاي تحريك و آشكارسازي و كاربرد اين سيستم ها در حسگري جرم و فشار ارائه شده است.
چكيده لاتين :
فاقد چكيده مي باشد
