بررسي تاثير پارامترهاي هندسي بر جابه جايي خارج از صفحه ميكروتير پيزوالكتريكي با سطح مقطع T شكل

دستيابي به جابه جايي خارج از صفحه بالاتر در ميكروتيرها موجب افزايش حساسيت و دقت ميكرو سنسورها و افزايش دامنه جابه‌جايي و كارآيي ميكرومحرك‌هاي مبتني بر اين ميكروتيرها مي شود. در اين مقاله، جابه جايي خارج از صفحه يك ميكروتير پيزوالكتريك با سطح مقطع T شكل به روش المان محدود مدلسازي شده است. به‌منظور افزايش جابه جايي خارج از صفحه اين ميكروتير، تاثير پارامترهاي هندسي بر جابه‌جايي خارج از صفحه ميكروتير مذكور به روش تاگوچي بررسي شده است. سطح بهينه متغيرهاي هندسي ميكروتير براي دستيابي به بيشترين جابه‌جايي خارج از صفحه ميكروتير، با تحليل ضرايب سيگنال به نويز و ترتيب اهميت تاثير متغيرهاي هندسي بر جابه‌جايي خارج از صفحه با تحليل واريانس تعيين شده است. در بين مشخصات هندسي تحليل شده، طول ميكرو كانتيلور (L) بيشترين تاثير را بر روي ميزان جابه جايي خارج از صفحه دارد. با افزايش طول ميكرو كانتيلور جابه‌جايي خارج از صفحه آن بيشتر مي شود. پس از طول، عمق جان تير (h)، بيشترين تاثير را بر جابه جايي نوك ميكرو كانتيلور دارد. هر چه اندازه عمق جان تير كمتر باشد، ميزان جابه جايي ميكرو كانتيلور بيشتر است. با استفاده از سطوح بهينه متغيرهاي هندسي، مقدار جابه جايي خارج از صفحه 3/296 ميكرومتر بدست آمد كه حدود 3/2 برابر نتيجه آخرين تحقيق انجام شده در اين زمينه است.