بررسي اثر دماي زيرلايه بر خواص ساختاري و فيزيكي لايه نازك كربن انباشت شده به روش كندوپاش پرتو يوني

در تحقيق حاضر اثر دماي زيرلايه در محدوده ºC 400-36 بر خواص ساختاري و فيزيكي لايه نازك كربن ايجاد شده بر سطح شيشه به روش كندوپاش پرتو يوني بررسي شده است. خواص نوري و ساختاري لايه به ترتيب به وسيله طيف سنجي UV-visible، طيف سنجي رامان و ميكروسكوپ نيروي اتمي مورد مطالعه قرار گرفته است. اندازهگيري طيف عبور نمونه ها كاهش ميزان عبور نور در محدوده مرئي با افزايش دماي انباشت را نشان مي دهد. طيف رامان لايه ها نشان مي دهد كه ساختار لايه نازك كربن آمورف با افزايش دماي انباشت به سمت كربن آمورف گرافيتي تغيير ميكند. بررسي لايه هاي انباشت شده در دماي بالاتر از ºC100 نشاندهنده روند كاهشي مقاومت الكتريكي اندازهگيري شده توسط روش چهار كاوه و انرژي نوار ممنوعه با افزايش دماي انباشت مي باشد. در حالي كه نتايج بررسي مورفولوژي سطح افزايش زبري سطح در اثر افزايش دماي زيرلايه را نشان مي دهد. در نمونه هاي انباشت شده در دماي ºC100، حداقل اندازه خوشه هاي كريستالي گرافيتي با پيوندهايsp2 برابر با nm 36/0 و حداكثر انرژي نوار ممنوعه برابر با eV 3 مي باشد.