تاثيردماي بازپخت برروي ويژگي هاي نانو ساختاري، مورفولوژي و نوري لايه هاي اكسيد نيكل تهيه شده توسط اكسيژن دهي حرارتي لايه هاي نيكل انباشتي به روش تبخير باريكه الكتروني

در اين تحقيق،ابتدا لايه هاي نازك نيكل با روش تبخير باريكه الكتروني تحت شرايط انباشت يكسان بر روي زيرلايه هاي سيليكان و كوارتز لايه نشاني شده و سپس تحت فلوي اكسيژن در دماهاي متفاوت C° 700-400 در كوره الكتريكي بازپخت حرارتي شدند. تاثير دماي بازپخت بر روي ويژگي هاي ساختاري، مورفولوژيكي و نوري نمونه ها به ترتيب با آناليزهاي پراش اشعه ايكس (XRD)، ميكروسكوپ نيروي اتمي(AFM) ، ميكروسكوپ الكتروني روبشي (SEM)و طيف سنجي فرابنفش مرئي بررسي شده است. نتايج آناليز XRD نشان داد كه فاز بلوري نيكل در دماي بازپخت C° 400 ايجاد شده است و با افزايش دما از C° 500 تا C° 700 فازهاي بلوري اكسيد نيكل قابل مشاهده هستند. تصويرهاي AFM و SEM نيز نشان مي دهند كه دماي بازپخت مورفولوژي و زمختي سطح لايه ها را قويا تحت تاثير خود قرار داده و با افزايش دماي بازپخت اندازه دانه ها افزايش يافته است. همچنين بااستفاده از داده هاي عبوري لايه هاي اكسيد نيكل انباشتي بر روي زير لايه كوارتز مقادير گاف انرژي لايه هاي اكسيد نيكل محاسبه شده اند.